从半导体材料到设备的一站式解决方案 By 中欣晶圆
SEMICON China 2021新技术发布会
杭州中欣晶圆半导体股份有限公司总经理郭建岳为我们带来了《从半导体材料到设备的一站式解决方案—FerroTec集团暨中欣晶圆新品介绍》。FerroTec集团提供“一站式”半导体晶圆片技术服务，此次FerroTec新推出了电子束蒸发器，用于高精度蒸发镀膜系统的核心工艺部件，半导体是该设备最主要的应用领域。其大尺寸铝合金腔体焊接的新工艺，也在国内设备制造领域取得显著业绩。FerroTec还在DCB覆铜载板中采用湿法氧化的新型氧化工艺，大幅度提高了热导率。