• SEMI S30关于爆炸性危险材料的操作指导
• 什么是爆炸性材料，来自哪里？
• 对于真空和尾气处理系统有哪些额外的要求？
• 真空和尾气处理系统如何应对爆炸性材料？

埃地沃兹贸易（上海）有限公司应用技术总监马震介绍了《SEMI S30标准中，解决工艺排气管道爆炸性危险的方法》，由于半导体生产工艺中经常使用一些非常活跃的材料，以便获得高质量的成膜或生产效率，尾气极易发生爆炸。确保空气无法接触反应副产物，是针对半导体工艺的真空和尾气处理的一大挑战。为了提供完全符合SEMI S30的危险排气设计要求，埃地沃兹推出了集成式一体机系统，该系统融合选型与设计，从原理上确保危险气体的安全排放。