物联网技术在半导体设备自动化中的应用 By 赛美特科技
SEMICON China 2021新技术发布会
苏州赛美特科技有限公司自动化事业部总经理张影在《物联网技术在半导体设备自动化中的应用》中提出，设备自动化的应用能够有效减少人工误操作，EAP通过整合系统中的信息，在设备自动化中起到管控作用，防止生产异常。“一站式”IoT平台为作业与管理提供了便利，此外还可以实现对原材料、机台、产品、生产环境以及生产过程的实时监测和实时控制，从而提高企业生产自动化、智能化水平，提高生产效率，保证良率，为企业节约更多的成本投入。